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晶圓劃片機(jī)在切割劃切過程中為什么要測(cè)高？

2022-03-01 0

晶圓劃片機(jī)是半導(dǎo)體封裝加工技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)重要的加工設(shè)備，目前市場(chǎng)上使用較多的是砂輪劃片機(jī)，砂輪劃片機(jī)上高速旋轉(zhuǎn)的金剛石劃片刀在使用過程中會(huì)不斷磨損，如果劃片刀高度不調(diào)整，在工件上的切割深度會(huì)逐漸變淺。

為了保證測(cè)量結(jié)果的精準(zhǔn)，需要對(duì)劃片刀的磨損程度進(jìn)行在線檢測(cè)，根據(jù)劃片刀磨損量調(diào)整主軸相對(duì)工作臺(tái)的高度，因此市面上的晶圓劃片機(jī)均需要設(shè)置有用于對(duì)劃片刀進(jìn)行測(cè)高的測(cè)高裝置，通過測(cè)高裝置對(duì)劃片刀進(jìn)行測(cè)高，及時(shí)調(diào)整劃片刀的高度，盡可能保證加工時(shí)劃片刀與工件的相對(duì)位置不變。